Применение карбида кремния в полупроводниковой промышленности
Карбид кремния (SIC) также называют наждачным песком. Он изготавливается из кварцевого песка, нефтяного кокса, древесной щепы, соли и другого сырья. На самом деле, карбид кремния был открыт давно.
Он обладает следующими преимуществами: высокая теплопроводность, малый коэффициент теплового расширения, хорошая стойкость к истиранию, высокая твердость (твердость Mo составляет 9,4, что уступает только самому твердому в мире алмазу (уровень 10)), отличная теплопроводность, сильная антиоксидантная способность при высоких температурах и т. д.
Цепочка производства полупроводников из карбида кремния в основном включает следующие звенья:
1. порошок карбида кремния высокой чистоты
2.монокристаллическая подложка,
3.расширение
4.устройство питания
5модульная упаковка
6.терминальное приложение.