Применение карбида кремния в полупроводниковой промышленности
Карбид кремния (SIC) также называют наждачным песком. Его изготавливают из кварцевого песка, нефтяного кокса, древесной стружки, соли и другого сырья. На самом деле карбид кремния был открыт давно.
Он обладает следующими преимуществами: высокая теплопроводность, небольшой коэффициент теплового расширения, хорошая стойкость к истиранию, высокая твердость (твердость Мо составляет 9,4, уступая только самому твердому алмазу в мире (уровень 10)), отличная теплопроводность, сильная способность антиоксиданта при высоких температурах, и т. д.
Цепочка производства полупроводников из карбида кремния в основном включает следующие звенья:
1. порошок карбида кремния высокой чистоты
2. монокристаллическая подложка,
3.расширение
4.силовое устройство
упаковка 5модулей
6.терминальное приложение.